半導體設備如何選擇減振器

半導體設備是指光刻機、晶圓檢測設備等，這類設備的精度要求都非常高，對振動均非常敏感，通常需求主動減振器才能滿足要求，也有檢測類設備被動減振器即可滿足。這類設備的減振器是標配產品，減振器能抑制振對設備運行的影響，保證設備的穩定性和納米精度要求。

半導體設備如何選擇減振器

在選擇減半導體減振器設備之前，首先要了解周邊的環境和設備的詳細參數。只有將這些因素整理清楚，才可以進行減振器的選型，當然對于安裝的時候才能夠更好的去做到細節上的安裝，設備減振器的使用帶動的是不斷的環境上的改善, 將所有的減震細節和環境進行相結合，給出的是更多的方案，對于工業生產中的安裝來說是非常的重要的。

三思THA系列主動減振器

產品特點：

· 輕巧便捷，安裝方便，無需氣源，電源接入，即插即用

· 手動調節水平，簡捷操作，節省成本
· 六自由度傳感器反饋信號到電機實施主動反向推力消除振動


· 可實時監控

產品參數

半導體生產對于設備減振器的需求是很大的，因為基本上每一個半 導體的生產環節都是用到了設備減振器的，而好的設備減振方案和好的設備減振器是能夠帶動生產環境的良好發展，對于半導體行業的發展也是相當的重要。

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