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THA3主動減振器
發布時間：2025.08.20 閱讀量：2455
- 所屬分類：THA系列主動減振器
- 點擊次數：2455
- 發布日期：2025/08/20
詳細介紹
產品特性：
- THA3系列主動減振器采用空氣彈簧作為被動隔振單元，搭配不同推力的音圈電機，適用于微動平臺及動平臺。
- 提供手動調平和自動調平兩種方式，輕松快捷調平。
- 采用地面前饋、運動前饋及反饋控制技術，進行6自由度振動主動控制，對地面低頻振動，平臺運動帶來的振動具有極佳的衰減能力，適用于超精密設備減振
- 采用先進的智能控制算法，兼顧減振性能和魯棒性?？煽啃愿呖垢蓴_能力強，適用于各類環境，無需頻繁調整即可保持最優性能。
- 友好的人機交互界面，無需專業知識，一鍵啟動減振。向用戶開放調試通道，便于用戶快捷方便自行調試。
產品結構說明：
產品用途：
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晶圓檢測設備、光刻設備、半導體檢測設備、高精度運動平臺等
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