被動隔振平臺（Passive Vibration Lsolation System）

被動隔振平臺一般由質量 – 彈簧 – 阻尼系統組成，主要使用線圈彈簧（Coil Spring）、隔振橡膠墊（Elastomer Pad）、空氣彈簧（Air Speing）來隔離地基振動，或是隔離振動源使其振動不至于專遞到地基。該系統的有點為簡單的結構即可獲得最大的隔振效果，但其缺點為在低頻段的共振及隔振性能極低，需要很長的穩定時間，另外操作性也較差。

主動隔振平臺（Active Vibration Lsolation System）

被動隔振平臺在低頻段難以隔離振動，為改善其隔振性能，主動隔振平臺安裝振動傳感器和執行器，以此有效控制振動。

主動隔振系統從隔振臺上板處開始測試振動，由控制執行器推力的反饋控制，以及從隔振臺地板處開始測試振動并以此來控制執行器推力的前饋控制組成。使用這一控制系統，不僅能夠大幅改善被動隔振平臺的動特性，還能有效改善低頻段隔振性能，并且不會出現共振。

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